走査型反射電子顕微鏡

トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡よりは一般的な技術で、条件により数～数十ｎｍ程度の分解能を得られる顕微鏡として、電子顕微鏡があります。

電子顕微鏡には走査を伴わないものもあり、また走査する場合でも試料を薄く切って透過電子を検出する「透過型」もあるのですが、ここでは透過でなく反射する電子による像について説明します。

基本は真空中で電子ビームを試料に照射し、それにより発生する二次電子を、例えば蛍光物質を塗ったスクリーンなどによって検出することになります。

この電子ビーム源としては尖ったタングステンなどがよく用いられますが、図13で触れたようにＣＮＴも有望視されています。

電子は電場や磁場によって偏向されます。

それをうまくコントロールすると、連続的に発生する電子ビームを、二次元状に走査（スキャン）させることが可能となります。

従って資料の形状により、二次電子の発生量が変わりますので、それを検出すれば像が得られるわけです。

表面が複雑な構造だと二次電子がたくさん出やすいという性質もあるので、単にある場所に試料があるかないかだけではなく、そのラフな表面形状までわかる場合があります。